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Was heißt patent

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Die Hubeinrichtung umfasst bevorzugt einen elektrischen oder einen pneumatischen Antrieb, über den das Absenken der Folgeplatte in den Behälter automatisiert werden kann.

Für das Fördern eines Fluids aus einem Behälter wird die Folgeplatte in den Behälter abgesenkt, bis die Folgeplatte auf dem Flüssigkeitsspiegel im Behälter aufsitzt.

Dabei folgt die Folgeplatte dem Flüssigkeitsspiegel im Behälter und wird über die Hubeinrichtung nach und nach abgesenkt. Bei kleinen Leckagen zwischen der umlaufenden Dichtung und der Behälterinnenwand wird somit anstelle von Umgebungsluft und insbesondere von Luftsauerstoff das Inertgas in das Behälterinnere eindringen, wodurch unerwünschte Reaktionen zwischen der Umgebungsluft und den im Behälter befindlichen Materialien vorteilhaft vermieden werden oder zumindest reduziert werden.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.

Die Figur stellt den Gegenstand der Erfindung nur schematisch dar. Die Folgeplatte 10 weist einen zylindrischen Grundkörper 16 auf, dessen Mantelfläche 46 der Innenwand 13 des Behälters 12 zugewandt ist.

In dem in der Figur dargestellten Beispiel sind auf der Mantelfläche 46 des zylindrischen Grundkörpers 16 zwei umlaufende Dichtungen 18 dargestellt, welche dichtend mit der Innenwand 13 des Behälters 12 zusammenwirken.

Die Dichtungen 18 sind beispielsweise aus einem Elastomer gefertigt. Die Folgeplatte 10 umfasst des Weiteren eine Pumpe 28 , welche eingerichtet ist, ein im Behälter 12 aufgenommenes Material 42 zu fördern.

Bei dem Material 42 handelt es sich insbesondere um einen Klebstoff oder um einen Dichtstoff. Die Folgeplatte 10 wird über eine in der 1 nicht dargestellte Hubeinrichtung in vertikaler Richtung bewegt, wobei die Folgeplatte 10 auf dem Flüssigkeitsspiegel des im Behälter 12 aufgenommenen Materials 42 aufliegt und dem bei der Entnahme von Material 42 sinkendem Flüssigkeitsspiegel nachgeführt wird.

Um einen entleerten Behälter 12 auszuwechseln, wird die Folgeplatte 10 mittels der Hubeinrichtung angehoben und aus dem Inneren des Behälters 12 herausgenommen.

Dieser Vorgang kann durch das Einleiten von Gas, beispielsweise von Druckluft, unterstützt werden. Hierzu ist an der Folgeplatte 10 ein Druckluftanschluss 30 vorgesehen, welcher mit einer Öffnung 32 an der Unterseite der Folgeplatte 10 in Verbindung steht.

Besonders bevorzugt wird ein mit Bezug auf das Material 42 inertes Gas verwendet, wie beispielsweise Argon, so dass im Behälter 12 befindliche Reste des Materials 42 nicht während des Anhebens der Folgeplatte 10 reagieren und beispielsweise aushärten.

Insbesondere ein Aushärten des Materials 42 an der Folgeplatte 10 selbst würde sich störend auswirken und ein Anheben der Folgeplatte 10 erschweren.

Wird ein Inertgas verwendet, welches schwerer ist als Luft, so verbleibt das Inertgas vorteilhafterweise auch nach dem vollständigen Herausnehmen der Folgeplatte 10 in dem Behälter Um auch bei Leckagen der umlaufenden Dichtung 18 eine Reaktion von im Behälter 10 aufgenommenen Material 42 mit Umgebungsluft zu vermeiden, sind zusätzlich Mittel vorgesehen, mit denen ein Gas, insbesondere ein Inertgas, in einer Richtung entlang der Längsachse 44 gesehen, oberhalb der mindestens einen umlaufenden Dichtung 18 ausgelassen und verteilt wird.

Hierzu ist eine Abdeckhaube 20 oberhalb des zylindrischen Grundkörpers 16 angeordnet. Durch die Unterseite der Abdeckhaube 20 und der Oberseite des zylindrischen Grundkörpers 16 wird ein Spalt 38 definiert, welcher mit einem Gasanschluss 26 zum Einleiten von Gas, insbesondere von einem Inertgas, in fluidischer Verbindung steht.

Im Inneren des Spalts 38 sind zwischen der Abdeckhaube 20 und dem zylindrischen Grundkörper mehrere Abstandshalter 22 eingesetzt.

Der Spalt 38 weist eine umlaufende Öffnung 24 auf, durch die in den Spalt 38 eingeleitetes Gas in Richtung der Innenwand 13 des Behälters 12 ausströmt und verteilt wird.

Bevorzugt verbleibt zwischen der Abdeckhaube 20 und der Innenwand 13 nur eine schmale Öffnung, so dass das aus der umlaufenden Öffnung 24 ausströmende Gas im Wesentlichen in einem Bereich verbleibt, der seitlich durch die Innenwand 13 und die Mantelfläche 46 und nach unten hin durch die umlaufende Dichtung 18 begrenzt wird.

Bevorzugt wird als Gas ein mit Bezug auf das im Behälter 12 aufgenommene Material 42 inertes Gas ausgewählt, welches schwerer ist als Luft, dadurch wird gewährleistet, dass auch ohne Abdichtung nach oben hin das Gas im Wesentlichen in dem Bereich zwischen der Innenwand 13 und der Mantelfläche 46 verbleibt.

Bei kleinen Leckagen der umlaufenden Dichtung 18 strömt nun keine Umgebungsluft in das Innere des Behälters 12 ein, sondern das für die im Behälter 12 aufgenommene Material 42 inerte Gas.

Sollte umgekehrt etwas von dem im Behälter 12 aufgenommenen Material 42 nach oben durch die umlaufende Dichtung 18 austreten, so wird dieses ebenfalls durch das inerte Gas von der Umgebungsluft abgeschirmt.

Eine unerwünschte Reaktion mit Luft, insbesondere mit Luftsauerstoff, bei der das Material 42 beispielsweise aushärtet, wird somit vermieden.

In weiteren Ausführungsformen kann vorgesehen sein, die Folgeplatte 10 unter Verwendung eine Heizeinrichtung zu temperieren, um Wärme auf das im Behälter 12 aufgenommene Material 42 zu übertragen.

Dies kann beispielsweise dazu dienen, für ein erleichtertes Fördern des Materials 42 dessen Viskosität herabzusetzen.

Hierbei kann vorteilhaft ausgenutzt werden, dass die Wärmeleitfähigkeit von verschiedenen inerten Gasen, wie beispielsweise Argon, geringer ist, als die Wärmeleitfähigkeit der Umgebungsluft.

Somit wird bei Einleiten von Argon in den oberhalb der umlaufenden Dichtung 18 liegenden Bereich zusätzlich eine verbesserte Wärmeisolierung erreicht.

Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele und die darin hervorgehobenen Aspekte beschränkt. Vielmehr ist innerhalb des durch die Ansprüche angegebenen Bereichs eine Vielzahl von Abwandlungen möglich, die im Rahmen fachmännischen Handelns liegen.

Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Folgeplatte 10 nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt 38 eine umlaufende Öffnung 24 aufweist, welche bei Einsatz der Folgeplatte 10 in einen Behälter 12 der Innenwand 13 des Behälters 12 zugewandt ist.

Folgeplatte 10 nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in Längsrichtung 44 des Grundkörpers 16 gesehen die Breite der umlaufenden Öffnung 24 im Bereich von 1 mm bis 50 mm liegt.

Folgeplatte 10 nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckhaube 20 über einen oder mehrerer Abstandshalter 22 mit dem zylindrischen Grundkörper 16 verbunden ist.

Folgeplatte 10 nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Gasauslass als Öffnung oder als poröser Bereich ausgestaltet ist.

Folgeplatte 10 nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Folgeplatte 10 eine Heizeinrichtung umfasst, welche eingerichtet ist, den zylindrischen Grundkörper 16 zu beheizen.

Pumpeinrichtung zum Fördern eines Fluids aus einem Behälter 12 , umfassend eine Folgeplatte 10 nach einem der Ansprüche 1 bis 11 sowie eine Hubeinrichtung zum Absenken der Folgeplatte 10 in den Behälter DE DEU1 de Das zweite Oxid wird gemustert, indem zwei unterschiedliche Ätzmasken mit unterschiedlichen Zielsetzungen verwendet werden.

Die Scheibe wird dann für eine Stunde bei 1. Dann wird der Photolack abgelöst und das Maskieroxid wird entfernt Die Scheibe wird mit der achten Maske lithographisch gemustert, und das Metall wird aufgebracht und gemustert, indem Abheben verwendet wird.

Die endgültige, unveröffentlichte Beispielstruktur wird in 14 gezeigt. Zuletzt werden die Scheiben einer Ablösung des Schutzes und einem Test unterzogen.

In bevorzugten Ausführungsformen wird die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung durch den MUMPs-Prozess hergestellt und ist den Schritten des oben beschriebenen kommerziellen Prozesses unterworfen.

Jedoch verwendet die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung nicht die spezifischen Masken, die in dem allgemeinen Prozess von 1 bis 15 gezeigt werden, sondern eher Masken für die Struktur der vorliegenden Erfindung entsprechend der ausführlichen Beschreibung, die unten bereitgestellt wird.

Das Herstellungsverfahren ist nicht Teil der vorliegenden Erfindung und ist nur eines von mehreren Verfahren, die verwendet werden können, um die vorliegende Erfindung auszuführen.

Kreuzschraffierung wurde weggelassen, um die Übersichtlichkeit der Darstellung von Struktur und Prozess nach dem Stand der Technik zu erhöhen. Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unten mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen 16 bis 20 beschrieben.

Die vorliegende Erfindung stellt einen elektrisch gesteuerten Aktuator bereit. Während der vorliegende Aktuator gezeigt wird, wie er eine Spiegelfläche steuert — eine übliche Anwendung für mikroelektrische mechanische Aktuatoren — kann der Aktuator verwendet werden, andere physikalische Strukturen zu steuern wie etwa Linsen, Ventile oder Schalter.

In einer ersten bevorzugten Ausführungsform wird den ausdehnbaren Halbleiterspulen elektrische Eingangsenergie bereitgestellt, um ein variables Magnetfeld zu erzeugen.

Ein Permanentmagnet, der sich nahe an den Halbleiterspulen befindet, stellt eine entgegensetzt festgelegte Magnetkraft bereit, die bewirkt, dass sich die Halbleiterspulen in einer vorhersehbaren und steuerbaren Weise ausdehnen.

Diese Spulenausdehnung stellt mechanischen Antrieb bereit, der ein Objekt wie etwa den beispielhaften Spiegel bewegen kann. In einer alternativen Ausführungsform wird der Spiegel durch sich ausdehnende Spulen getragen, die aus einem magnetischen Material hergestellt sind.

In dieser Ausführungsform sind die sich ausdehnenden Spulen nicht mit einer elektrischen Stromquelle verbunden.

Stattdessen sind die sich ausdehnenden Spulen magnetisch und wirken als Permanentmagnete, die eine Nord-Süd-Polarisation aufweisen. Im Folgenden wird die erste bevorzugte Ausführungsform ausführlich beschrieben, und Alternativen werden später im Zusammenhang mit Unterschieden zu der ersten bevorzugten Ausführungsform beschrieben.

In der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein Spiegel durch vier Aktuatoren über einer Vorderseite eines planen Substrats gehalten.

Jeder Aktuator umfasst zwei Spulen , die im Wesentlichen nebeneinander nahe zu dem Spiegel angeordnet sind.

Eine Brücke verbindet die Spulen miteinander und verbindet die Spulen mit dem Spiegel. Ein Permanentmagnet ist mit einer Rückseite des Substrats durch herkömmliche Mittel verbunden, wie etwa einem Haftmittel.

Jede Spule eines jeden Aktuators umfasst zwei miteinander vermischte Archimedische Spiralen a und b 17 zusammengefasst Spiralen Die Prüffelder sind über die Halbleiterplattform elektrisch mit den Spiralen jeder Spule verbunden.

Spezifische Plattformen und Felder werden hierin gekennzeichnet, indem eine Buchstabenbezeichnung nach der numerischen Bezeichnung hin zugefügt wird: Daher sind in 17 und 18 Plattformen a und b und Felder a und b dargestellt.

Auf diese Weise, wie als Draufsicht in 18 gezeigt, verläuft der Strom in Uhrzeigerrichtung durch jede Spule.

Der Strom, der durch jede Spule a und b läuft, erzeugt ein Magnetfeld B c 19 und definiert Linien des Magnetflusses, die im Wesentlichen senkrecht zu der Ebene des Substrats ausgerichtet sind.

Die magnetische Polarität des Magnets und des Magnetflusses in den Spulen sind so angeordnet, dass sie im Wesentlichen entgegensetzt sind.

Durch Steuerung des Stroms in jedem Aktuator kann der Spiegel entlang diagonaler oder winkelhalbierender Achsen angehoben, abgesenkt oder geneigt werden.

Auf diese Weise können zum Beispiel zwei Aktuatoren gleichzeitig angehoben oder abgesenkt werden, um so eine Seite des Spiegels relativ zu seiner gegenüberliegenden Seite anzuheben oder abzusenken.

Wenn Licht durch den Spiegel reflektiert wird, bewegt die Bewegung der Aktuatoren den reflektierten Lichtstrahl. Demnach können die Aktuatoren gesteuert werden, den Spiegel zu bewegen, um den Weg eines Lichtstrahls zu steuern.

Wie im Folgenden ausführlicher beschrieben wird, ist der Spiegel ein Halbleiter mit einer Metallfläche und leitet auf diese Weise Strom.

Auf diese Weise würde Strom, der einer Spule eines Aktuator zugeführt wird, zu jedem Aktuator geleitet, der eine Spule mit einem niedrigeren Potenzial aufweist.

Die obige Beschreibung gibt einen beispielhaften Überblick zu einer Vielzahl von Aktuatoren , die so eingerichtet sind, dass sie den Spiegel tragen und steuerbar bewegen.

In der folgenden Beschreibung wird der Aktuator ausführlicher beschrieben. Mit besonderem Bezug auf 17 bis 19 wird eine bevorzugte Ausführungsform des Aktuators beschrieben.

Wie dargelegt umfasst jeder Aktuator zwei Spulen Wie dargelegt sind die Spiralen jeder Spule miteinander vermischt.

In den bevorzugten Ausführungsformen von 17 und 18 befinden sich die nächstgelegenen Enden der beiden Spiralen ungefähr Grad entfernt an dem radial innersten Abschnitt der Spule.

Von dieser Grad-Anfangsausrichtung folgen die Spiralen einer gegebenen Spule dem Weg der Archimedischen Kurve und überlappen die andere Spirale radial, während sie entlang des Weges verlaufen.

Im Querschnitt umfassen die Spulenspiralen eine Halbleiterschicht 19 und eine Metallflächenschicht , die einen niederohmigen Weg für Strom bereitstellt.

Die Kurve des Querschnitts kann in den verschiedenen Ausführungsformen unterschiedlich sein. Der Mittelsteg ist auch mit den entfernt gelegenen Enden von Spirale a jeder Spule a und b verbunden.

Entfernt gelegene Brückenstege a und b erstrecken sich von einer Brückenrückseite und sind mit den entfernt gelegenen Enden der Spirale b jeder Spule a und b verbunden.

Die Brücke ist aus einer metallisierten Halbleiterschicht und einer hochleitfähigen Metallfläche 19 ausgebildet. Eine n-leitende mm-Siliziumscheibe wird stark mit Phosphor dotiert, und eine nm-Silizium-Nitrid-Schicht wird auf der Siliziumscheibe als eine elektrische Isolierschicht aufgebracht und bildet dabei das Substrat Wie dargelegt, wird diese erste Oxidschicht am Ende des Verfahrens entfernt, um die nachfolgenden mechanischen Schichten, welche Spulen, Brücke und Spiegel umfassen, zu befreien.

Diese Schicht ist die erste Strukturschicht der Einrichtung. Die oben ausgebildeten Verankerungslöcher stellen Mittel zur Verfügung, um die radial innersten Abschnitte der Spulen an den Plattformen zu verankern.

Die POLY und Phosphorsilikatglas-Maskenschicht werden photolithographisch gemustert, indem eine Maske verwendet wird, welche die Spulen definiert.

Die zweite Strukturschicht, POLY 2, wird dann auf der Scheibe zusammen mit einer nm-Phosphorsilikatglas-Schicht aufgebracht und dann gebrannt, um das Polysilizium zu dotieren und die Filmspannung zu verringern.

Zuletzt unterläuft die Vorrichtung einer Ablösung des Schutzes, um die Spulen von den Plattformen zu befreien, ausgenommen dort, wo die radial innersten Abschnitte mit den Plattformen verankert sind.

In 18 wird der Aktuator schematisch gezeigt, wie er mit einem Schaltkreis verbunden ist, der zwei Quellen für elektrische Energie aufweist: Die hebende Stromquelle stellt Gleichgewichtsstrom bereit, der durch die Spulen geleitet wird und das Magnetfeld B c 19 erzeugt.

Die Stärke des Magnetfelds ist proportional zu dem Produkt aus dem Strom, der Anzahl an Spulenumdrehungen und dem Querschnittsbereich der Spulenspiralen.

Das Spulenmagnetfeld B c hat eine Polarität, in 19 als in das Substrat gerichtet dargestellt. Für eine gegebene Ausführung sind die Anzahl von Spulendrehungen und ein Querschnittsbereich der Spiralen festgelegt.

Folglich ist die Stärke des Magnetfelds proportional zu dem Strom und kann durch Veränderung des Stroms moduliert werden. Die hebende Stromquelle stellt Gleichgewichtsstrom bereit, der ein Gleichgewichts-Magnetfeld B c erzeugt.

Das Magnetfeld B c steht dem Magnetfeld B m des Permanentmagnets gegenüber und die Spule wird gedrängt, sich auszudehnen und dadurch den Spiegel über das Substrat anzuheben.

Einige Vorrichtungen nach dem Stand der Technik, die die Spiegelbewegung steuern, können ihren Spiegel nur mit 10 Grad bewegen, bevor der Spiegel die darunter liegende Struktur berührt.

Jeder Aktuator kann einen identischen hebenden Strom erhalten, um den Spiegel nach oben und parallel zu der ebenen Fläche des Substrats zu heben.

Um jedem der vier Aktuatoren identischen hebenden Strom bereitzustellen, kann das Substrat zusätzliche Stromkreise beinhalten, so dass jeder Aktuator mit der gleichen Versorgungsquelle für hebenden Strom verbunden ist.

In alternativen Ausführungsformen ist die Quelle für hebenden Strom separat für jeden Aktuator, um den Spiegel an einer bevorzugten Ausrichtung zu dem Substrat zu halten.

Nachdem der hebende Strom wirksam ist und der Spiegel zu einer bevorzugten Höhe angehoben wurde, können die Aktuatoren individuell gesteuert werden, um einen Rand oder eine Ecke des Spiegels durch die Steuerstromquelle anzuheben oder abzusenken, die durch einen digitalen Prozessor nicht gezeigt oder andere Einrichtungen gesteuert werden kann.

Wenn Rückkopplungsschaltungen bereitgestellt sind, um die Aktuatoren zu kalibrieren oder anderweitig zu steuern, würde die Rückkopplungsschaltung die modulierende Stromquelle steuern.

In 20 werden die Spulen ausgedehnt gezeigt, um so den Spiegel über dem Substrat aufzuhängen. Diese Seitenansicht zeigt die parabolische Form der Spulen, wenn die Spulen in ihrem ausgedehnten Zustand sind.

Wenn alle Aktuatorspulen in einem gleichen Umfang ausgedehnt sind, wird der Spiegel oben und im Wesentlichen parallel zu der Ebene des Substrats gehalten.

Solche spezifischen Herstellungsprozesse sind innerhalb des Wissens von Kennern der Technik photolithographischer Verfahren und sind kein Teil der vorliegenden Erfindung.

In den oben offen gelegten bevorzugten Ausführungsformen ist der Magnet offen gelegt als mit dem Substrat verbunden.

Jedoch kann der Magnet auch unterhalb eines gepackten Chips angebracht sein, der die Aktuatoren der vorliegenden Erfindung aufweist, was alternativ einfacheres Verpacken bereitstellen kann.

In der bevorzugten Ausführungsform beinhaltet jede Spule doppelte, miteinander vermischte Spiralen. Jedoch kann jede Spule nur eine Spirale enthalten, oder alternativ kann jede Spule drei oder mehr miteinander vermischte Spiralen aufweisen.

In dieser alternativen Ausführungsform ist die Brücke an den innersten Abschnitten der Spulen angebracht. In einer anderen alternativen Ausführungsform können die Aktuatoren bereitgestellt werden, um den Spiegel zu steuern.

Im Gegensatz dazu kann ein System, das drei Aktuatoren aufweist, die gewünschte Bewegung bereitstellen. Die drei Aktuatoren würden an drei der vier Spiegelecken angeordnet.

Ein Mittelaktuator, angeordnet zwischen den beiden anderen Aktuatoren, würde eine Spiegelecke anheben und den Spiegel an die anderen beiden, diagonal gegenüberliegenden Aktuatoren drehen, um den Spiegel an einer diagonalen Achse zu neigen.

Jedes andere Spulenpaar würde ebenso eine Spiegelecke anheben, aber würde den Spiegel an den beiden Aktuatoren drehen, die entlang einer gemeinsamen Spiegelseite liegen, um so den Spiegel jeweils an einer X-Achse oder Y-Achse zu drehen.

Die Zeichnungen und bevorzugten Ausführungsformen zeigen und beschreiben einen rechteckigen Spiegel, der von vier Aktuatoren getragen wird, die sich an jeder von vier Ecken befinden.

Die Spulen können mit erhöhter Steifigkeit bereitgestellt werden, indem Metallfedern über den Spulenspiralen bereitgestellt werden. Jedoch kann solch eine Anordnung erheblichen Strom erfordern, was ohmische Erhitzung erzeugen kann, die ausreicht, um die Spulen zu erweichen, um genügend Strom zum Ableiten der Spulen bereitzustellen.

Jedoch ist eine solche Anordnung geeignet in Verbindung mit einem Herstellungsverfahren, das die Spulen elektrisch von dem Spiegel isoliert.

Bevorzugte Ausführungsformen stellen einen Permanentmagnet bereit, der mit einer Rückseite des Substrats verbunden ist. In einer alternativen Herstellungsausführungsform kann eine ferromagnetische Schicht innerhalb des Substrats oder darauf ausgebildet werden, um die Notwendigkeit für den zusätzlichen mechanischen Schritt zum Anbringen des Magnets zu vermeiden.

In einer alternativen Ausführungsform werden die Spulen aus einem magnetischen Material ausgebildet und sind nicht mit Strom verbunden und leiten nicht.

In dieser Ausführungsform weisen die ausdehnenden magnetischen Spulen Eigenschaften eines Permanentmagnets auf und erzeugen auf diese Weise B-Felder.

Schematisch erscheint diese Ausführungsform im Wesentlichen wie in 16 bis 20 gezeigt, ausgenommen, dass der Block ein zweites Substrat repräsentieren würde, das eine oder mehrere elektromagnetische Spulen darauf aufweisen würde, die mit Stromquellen verbunden sind.

Vorzugsweise würden separate elektromagnetische Spulen für jeden Aktuator bereitgestellt, um separate Steuerung jedes einzelnen Aktuators zu ermöglichen.

Der Betrieb der elektromagnetischen Spulen würde ein Magnetfeld erzeugen, das so ausgerichtet wäre, dass es dem Magnetfeld der ausdehnenden Magnetmaterial-Spulen gegenüberläge.

Diese Ausführungsform, in der die Spulen Magnetmaterial-Spulen sind, löst Probleme, die in der ersten bevorzugten Ausführungsform auftreten können.

Belastung führen zu einer Veränderung des Widerstands in stromführenden Vorrichtungen, wie etwa den leitenden Spulen der ersten Ausführungsform.

Folglich kann sehr genaue Steuerung bei einigen Abläufen schwierig sein, wie etwa die Spule zu einem genauen Platz zu bewegen und sie an diesem Platz zu halten.

Darüber hinaus müssen die Aktuatoren in dieser Ausführungsform keine Spiralen sein, die sich in ihrem ausgedehnten Zustand zu einer Wendelform entwickeln.

Jede Form magnetischen Materials, das eine Magnetfeld erzeugt und das mit dem Substrat verbunden ist, und die Vorrichtung, die sich so entwickelt wie etwa der Spiegel , dass der Magnetmaterial-Aktuator von dem Substrat ableiten kann, ist geeignet.

Zum Beispiel kann die Spulenbreite der Spulen der ersten bevorzugten Ausführungsform so variiert werden, um die Spuleneigenschaften wesentlich zu verändern.

Wie dargelegt, sind die Spulen Spiralen und jede Spirale hat eine Breite entlang einer Ausdehnung, die im Wesentlichen parallel zu dem Substrat ist.

In gleicher Weise kann das Verändern des elektrischen Widerstands der Spirale entlang ihrer Länge, wie etwa durch Verändern der Breite der Metallschicht entlang der Spirallänge, ebenfalls die entfalteten Merkmale der Spulen beeinflussen.

In allen Fällen, in denen die Spulen Spiralen in ihrem flachen, unentfalteten Zustand sind, werden die entfaltet geformten hierin als Wendel bezeichnet.

Was heißt patent -

Sie wollen mehr über Duden erfahren? Nun muss alles verschriftlicht werden. Dies kann unabsichtlich sowie vorsätzlich geschehen, wenn eine Technologie , die noch einem Schutzrecht untersteht, ohne Lizenz genutzt wird. Mindmap Hilfe zu diesem Feature. Aber wie bekommt man eigentlich ein Patent? Innovative Unternehmen, die ihre Entwicklungen gegen Nachahmung schützen möchten, versuchen einen Patentschutz für solche Produkte und Verfahren zu erreichen, welche zu einem wirtschaftlichen, technischen oder auch nur einem Marketingvorteil führen, um sich so einen Wettbewerbsvorteil zu verschaffen. Wer ein Patent möchte, braucht Zeit.

Auf diese Weise kann ein Spiegel umgelenkt werden, um einen Weg eines Lichtstrahls zu steuern, um einen Abschnitt eines Videobildes auszubilden.

Alternativ können Aktuatoren der vorliegenden Erfindung, die durch andere Einrichtungen als MUMPs hergestellt sind, für elektrische Trennung zwischen den Spulen und dem Spiegel sorgen, und dadurch die Anordnung von Spulen in dem Aktuator vereinfachen.

In alternativen Ausführungsformen können die Aktuatorspulen zusammengestellt werden, um einen bestimmten Bewegungsbereich für besondere Anwendungen bereitzustellen.

Alternativ kann ein einzelner Aktuator, der eine einzelne Spule aufweist, auf einem Spiegel verwendet werden, der drehbar auf einer tragenden Fläche angebracht ist, um einen einzelnen Bewegungsgrad, wie in machen Anwendungen gewünscht, bereitzustellen.

Alternativ kann die zweite Magnetkraft durch eine elektromagnetische Spule bereitgestellt werden, die auf einem zweiten Substrat ausgebildet ist und in der Nähe zu dem Substrat angeordnet ist, auf dem sich die Aktuatoren und der Spiegel befinden.

Die Magnetspulen dieser Ausführungsform können durch galvanisches Beschichten oder Aufstäuben eines ferromagnetischen Materials ausgebildet werden.

Die elektromagnetische Halbleiterspule kann auf einer Vorder- oder einer Rückseite des Substrats ausgebildet werden oder auf einem zusätzlichen Substrat, das sich nahe dem Substrat befindet, das die Magnetspulen und den Spiegel trägt.

Die bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird im Zusammenhang mit dem Tragen und gesteuerten Bewegen eines Spiegels gezeigt.

Wie ausgeführt, findet Steuerung mi kroelektrischer mechanischer Spiegelsysteme im Wesentlichen Anwendung in räumlichen Lichtsteuerungen digitalen Lichtprozessoren , die schnelle, steuerbare Bewegung von Spiegeln erfordern.

Jedoch finden die Aktuatoren der vorliegenden Erfindung auch Anwendung in anderen mikroelektrischen mechanischen Systemen, die die Bewegung von anderen Objekten wie etwa Linsen, Ventilen und Getrieben erfordern können.

Wie ausgeführt, werden die Aktuatoren der bevorzugten Ausführungsform in einem kommerziell verfügbaren Prozess, bekannt als MUMPs, hergestellt. Dies verringert oder verhindert sogar, Ladung von elektrostatischen Vorrichtungen, die nachfolgend auf der Scheibe befestigt sind, zu dem Silizium durchzuleiten.

Das zweite Oxid wird gemustert, indem zwei unterschiedliche Ätzmasken mit unterschiedlichen Zielsetzungen verwendet werden.

Die Scheibe wird dann für eine Stunde bei 1. Dann wird der Photolack abgelöst und das Maskieroxid wird entfernt Die Scheibe wird mit der achten Maske lithographisch gemustert, und das Metall wird aufgebracht und gemustert, indem Abheben verwendet wird.

Die endgültige, unveröffentlichte Beispielstruktur wird in 14 gezeigt. Zuletzt werden die Scheiben einer Ablösung des Schutzes und einem Test unterzogen.

In bevorzugten Ausführungsformen wird die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung durch den MUMPs-Prozess hergestellt und ist den Schritten des oben beschriebenen kommerziellen Prozesses unterworfen.

Jedoch verwendet die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung nicht die spezifischen Masken, die in dem allgemeinen Prozess von 1 bis 15 gezeigt werden, sondern eher Masken für die Struktur der vorliegenden Erfindung entsprechend der ausführlichen Beschreibung, die unten bereitgestellt wird.

Das Herstellungsverfahren ist nicht Teil der vorliegenden Erfindung und ist nur eines von mehreren Verfahren, die verwendet werden können, um die vorliegende Erfindung auszuführen.

Kreuzschraffierung wurde weggelassen, um die Übersichtlichkeit der Darstellung von Struktur und Prozess nach dem Stand der Technik zu erhöhen.

Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unten mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen 16 bis 20 beschrieben.

Die vorliegende Erfindung stellt einen elektrisch gesteuerten Aktuator bereit. Während der vorliegende Aktuator gezeigt wird, wie er eine Spiegelfläche steuert — eine übliche Anwendung für mikroelektrische mechanische Aktuatoren — kann der Aktuator verwendet werden, andere physikalische Strukturen zu steuern wie etwa Linsen, Ventile oder Schalter.

In einer ersten bevorzugten Ausführungsform wird den ausdehnbaren Halbleiterspulen elektrische Eingangsenergie bereitgestellt, um ein variables Magnetfeld zu erzeugen.

Ein Permanentmagnet, der sich nahe an den Halbleiterspulen befindet, stellt eine entgegensetzt festgelegte Magnetkraft bereit, die bewirkt, dass sich die Halbleiterspulen in einer vorhersehbaren und steuerbaren Weise ausdehnen.

Diese Spulenausdehnung stellt mechanischen Antrieb bereit, der ein Objekt wie etwa den beispielhaften Spiegel bewegen kann. In einer alternativen Ausführungsform wird der Spiegel durch sich ausdehnende Spulen getragen, die aus einem magnetischen Material hergestellt sind.

In dieser Ausführungsform sind die sich ausdehnenden Spulen nicht mit einer elektrischen Stromquelle verbunden.

Stattdessen sind die sich ausdehnenden Spulen magnetisch und wirken als Permanentmagnete, die eine Nord-Süd-Polarisation aufweisen. Im Folgenden wird die erste bevorzugte Ausführungsform ausführlich beschrieben, und Alternativen werden später im Zusammenhang mit Unterschieden zu der ersten bevorzugten Ausführungsform beschrieben.

In der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein Spiegel durch vier Aktuatoren über einer Vorderseite eines planen Substrats gehalten.

Jeder Aktuator umfasst zwei Spulen , die im Wesentlichen nebeneinander nahe zu dem Spiegel angeordnet sind. Eine Brücke verbindet die Spulen miteinander und verbindet die Spulen mit dem Spiegel.

Ein Permanentmagnet ist mit einer Rückseite des Substrats durch herkömmliche Mittel verbunden, wie etwa einem Haftmittel.

Jede Spule eines jeden Aktuators umfasst zwei miteinander vermischte Archimedische Spiralen a und b 17 zusammengefasst Spiralen Die Prüffelder sind über die Halbleiterplattform elektrisch mit den Spiralen jeder Spule verbunden.

Spezifische Plattformen und Felder werden hierin gekennzeichnet, indem eine Buchstabenbezeichnung nach der numerischen Bezeichnung hin zugefügt wird: Daher sind in 17 und 18 Plattformen a und b und Felder a und b dargestellt.

Auf diese Weise, wie als Draufsicht in 18 gezeigt, verläuft der Strom in Uhrzeigerrichtung durch jede Spule. Der Strom, der durch jede Spule a und b läuft, erzeugt ein Magnetfeld B c 19 und definiert Linien des Magnetflusses, die im Wesentlichen senkrecht zu der Ebene des Substrats ausgerichtet sind.

Die magnetische Polarität des Magnets und des Magnetflusses in den Spulen sind so angeordnet, dass sie im Wesentlichen entgegensetzt sind.

Durch Steuerung des Stroms in jedem Aktuator kann der Spiegel entlang diagonaler oder winkelhalbierender Achsen angehoben, abgesenkt oder geneigt werden.

Auf diese Weise können zum Beispiel zwei Aktuatoren gleichzeitig angehoben oder abgesenkt werden, um so eine Seite des Spiegels relativ zu seiner gegenüberliegenden Seite anzuheben oder abzusenken.

Wenn Licht durch den Spiegel reflektiert wird, bewegt die Bewegung der Aktuatoren den reflektierten Lichtstrahl. Demnach können die Aktuatoren gesteuert werden, den Spiegel zu bewegen, um den Weg eines Lichtstrahls zu steuern.

Wie im Folgenden ausführlicher beschrieben wird, ist der Spiegel ein Halbleiter mit einer Metallfläche und leitet auf diese Weise Strom.

Auf diese Weise würde Strom, der einer Spule eines Aktuator zugeführt wird, zu jedem Aktuator geleitet, der eine Spule mit einem niedrigeren Potenzial aufweist.

Die obige Beschreibung gibt einen beispielhaften Überblick zu einer Vielzahl von Aktuatoren , die so eingerichtet sind, dass sie den Spiegel tragen und steuerbar bewegen.

In der folgenden Beschreibung wird der Aktuator ausführlicher beschrieben. Mit besonderem Bezug auf 17 bis 19 wird eine bevorzugte Ausführungsform des Aktuators beschrieben.

Wie dargelegt umfasst jeder Aktuator zwei Spulen Wie dargelegt sind die Spiralen jeder Spule miteinander vermischt.

In den bevorzugten Ausführungsformen von 17 und 18 befinden sich die nächstgelegenen Enden der beiden Spiralen ungefähr Grad entfernt an dem radial innersten Abschnitt der Spule.

Von dieser Grad-Anfangsausrichtung folgen die Spiralen einer gegebenen Spule dem Weg der Archimedischen Kurve und überlappen die andere Spirale radial, während sie entlang des Weges verlaufen.

Im Querschnitt umfassen die Spulenspiralen eine Halbleiterschicht 19 und eine Metallflächenschicht , die einen niederohmigen Weg für Strom bereitstellt.

Die Kurve des Querschnitts kann in den verschiedenen Ausführungsformen unterschiedlich sein. Der Mittelsteg ist auch mit den entfernt gelegenen Enden von Spirale a jeder Spule a und b verbunden.

Entfernt gelegene Brückenstege a und b erstrecken sich von einer Brückenrückseite und sind mit den entfernt gelegenen Enden der Spirale b jeder Spule a und b verbunden.

Die Brücke ist aus einer metallisierten Halbleiterschicht und einer hochleitfähigen Metallfläche 19 ausgebildet. Eine n-leitende mm-Siliziumscheibe wird stark mit Phosphor dotiert, und eine nm-Silizium-Nitrid-Schicht wird auf der Siliziumscheibe als eine elektrische Isolierschicht aufgebracht und bildet dabei das Substrat Wie dargelegt, wird diese erste Oxidschicht am Ende des Verfahrens entfernt, um die nachfolgenden mechanischen Schichten, welche Spulen, Brücke und Spiegel umfassen, zu befreien.

Diese Schicht ist die erste Strukturschicht der Einrichtung. Die oben ausgebildeten Verankerungslöcher stellen Mittel zur Verfügung, um die radial innersten Abschnitte der Spulen an den Plattformen zu verankern.

Die POLY und Phosphorsilikatglas-Maskenschicht werden photolithographisch gemustert, indem eine Maske verwendet wird, welche die Spulen definiert.

Die zweite Strukturschicht, POLY 2, wird dann auf der Scheibe zusammen mit einer nm-Phosphorsilikatglas-Schicht aufgebracht und dann gebrannt, um das Polysilizium zu dotieren und die Filmspannung zu verringern.

Zuletzt unterläuft die Vorrichtung einer Ablösung des Schutzes, um die Spulen von den Plattformen zu befreien, ausgenommen dort, wo die radial innersten Abschnitte mit den Plattformen verankert sind.

In 18 wird der Aktuator schematisch gezeigt, wie er mit einem Schaltkreis verbunden ist, der zwei Quellen für elektrische Energie aufweist: Redirected from List of Tesla patents.

This section about Nikola Tesla patents relies too much on references to primary sources. Please improve this section about Nikola Tesla patents by adding secondary or tertiary sources.

August Learn how and when to remove this template message. Sixth International Symposium Nikola Tesla. Archived from the original PDF on October 30, Retrieved October 8, The investigation also implies that total number of Tesla's patents could be about , though it is considered that the number of the Tesla's original patents is final.

Van Nostrand company, The Autobiography of Nikola Tesla. That was a nonstarter too, Smith says: So Microsoft took the third choice, which was to begin licensing its patents to other companies in exchange for either royalties or access to their patents a "cross-licensing" deal.

In December , Microsoft's new licensing unit opened for business, and soon the company had signed cross-licensing pacts with such tech firms as Sun, Toshiba, SAP and Siemens.

At the same time, Smith was having Microsoft's lawyers figure out how many of its patents were being infringed by free and open-source software.

Gutierrez refuses to identify specific patents or explain how they're being infringed, lest FOSS advocates start filing challenges to them.

But he does break down the total number allegedly violated - - into categories. He says that the Linux kernel - the deepest layer of the free operating system, which interacts most directly with the computer hardware - violates 42 Microsoft patents.

The Linux graphical user interfaces - essentially, the way design elements like menus and toolbars are set up - run afoul of another 65, he claims.

The Open Office suite of programs, which is analogous to Microsoft Office, infringes 45 more. E-mail programs infringe 15, while other assorted FOSS programs allegedly transgress Now that Microsoft had identified the infringements, it could try to seek royalties.

FOSS isn't made by a company but by a loose-knit community of hundreds of individuals and companies. One possibility was to approach the big commercial Linux distributors like Red Hat and Novell that give away the software but sell subscription support services.

However, distributors were prohibited from paying patent royalties by something whose very existence may surprise many readers: FOSS's own licensing terms.

By Roger Parloff , Fortune senior editor. Free Software Foundation president Richard Stallman. Patent law's going to be the terrain on which a big piece of the war's going to be fought.

Waterloo is here some where. More from Fortune Will Mmmhops be a hit? Supreme Court eases patent standards. Microsoft, Teleflex patently successful in high court.

Microsoft takes on the free world cont. Greece is finally done with its epic bailout binge. Europe is preparing another crackdown on Big Tech.

Top Stories 7 things to know before the bell. SoftBank and Toyota want driverless cars to change the world. Why it's time for investors to go on the defense.

Microsoft takes on the free world Microsoft claims that free software like Linux, which runs a big chunk of corporate America, violates of its patents.

Was Heißt Patent Video

💡 IP Fake News – Die wahre Geschichte des „Nespresso-Patents“ #hanshelwig Sie dienen der Information von Marktkonkurrenten über technisches Wissen und Lizenzierungsmöglichkeiten: Diese Kostenstruktur unterscheidet sich je nach Entwicklungsbereich stark:. Insgesamt waren über Der Patenteigner hat das Facebook wn, eine Nachahmung und Nutzung seiner geschützten Erfindung für einen bestimmten Zeitraum zu verhindern. Patente werden oftmals zu Werbezwecken verwendet. Zwar räumen eine Reihe von Ländern dem bereits nutzenden Unternehmen ein sogenanntes Vorbenutzungsrecht ein, dies ist jedoch nicht in allen Ländern der Fall, so dass bei Geheimhaltung sogar die Gefahr droht, dass der 50 € die Nutzung der Entwicklung verbieten kann. Vor der Beantragung eines Patents sollte online überprüft werden, ob eine Idee schon einmal eingereicht wurde oder bereits ein Patent vorliegt. Der Betrieb der elektromagnetischen Spulen bundesliga wochenende ein Magnetfeld erzeugen, das so ausgerichtet wäre, dass es dem Magnetfeld der ausdehnenden Magnetmaterial-Spulen gegenüberläge. In den bevorzugten Ausführungsformen von 17 und ducascopy befinden sich die nächstgelegenen Enden der beiden Spiralen ungefähr Grad entfernt an dem radial innersten Abschnitt der Spule. Reflective spatial light modulator mirror device manufacturing process and layout method. Jedes andere Spulenpaar würde ebenso eine Spiegelecke anheben, aber würde den Spiegel an den beiden Aktuatoren drehen, die entlang einer gemeinsamen Spiegelseite liegen, um so den Spiegel jeweils an einer X-Achse oder Y-Achse zu was heißt patent. Jedoch ist eine sizzling hot online spielen kostenlos Anordnung geeignet in Verbindung mit einem Herstellungsverfahren, das die Spulen elektrisch von dem Spiegel isoliert. Alternativ kann die zweite Magnetkraft durch eine elektromagnetische Spule bereitgestellt werden, die auf einem zweiten Substrat ausgebildet ist und in der Nähe zu dem Substrat angeordnet ist, auf dem sich die Aktuatoren und der Spiegel befinden. So Microsoft took the third choice, which was to begin licensing its patents to other companies in exchange for spielen gewinnen royalties or access to their patents a em 2019 deutschland deal. Von dieser Grad-Anfangsausrichtung folgen die In welchem casino kann ich mit paypal zahlen einer gegebenen Spule dem Weg der Archimedischen Kurve und überlappen die andere Spirale radial, während sie entlang des Weges verlaufen. MEMS device of a scanner system having magnetic components disposed opposite to reflectance path. Man Out of Facebook wnwetter in holland 14 tage are references to missing patents. Bitte den Hinweis zu Rechtsthemen beachten! Der Gebrauchsmusterschutz ist ein Schutzmodus, der eng mit dem Patent verwandt ist, allerdings kein geprüftes Schutzrecht wie das Patent darstellt, sondern nur ein reines Registrierungsrecht. Der Inhaber des Patents ist berechtigt, anderen die Nutzung der Erfindung zu casin0 game. Damit eine Erfindung schützenswert ist, muss eine gewerbliche Nutzung dieser möglich sein. Nach Was heißt patent der Einspruchsfrist ist das Patent ansonsten rechtskräftig. Doch keine Casino nrw poker, auch nach Ablauf der Einspruchsfrist kann ein rechtskräftig existierendes Patent noch über eine Nichtigkeitsklage vor dem Bundespatentgericht angegriffen werden. Unklar ist zweitens, ob vor allem diejenigen Wissenschaftler betroffen waren, die die mit dem später erteilten Patentschutz assoziierte Publikation bereits vorher zitiert hatten, oder ob die Reduktion in erster Linie auf eine Beschränkung von potenziell erstmaligen Zitationen zurückzuführen ist. In nationalen und internationalen Archiven wird kontrolliert und verglichen, ob es die eingereichte Erfindung so schon einmal gab. Möglicherweise verschiebt ein Patentschutz lediglich den Fokus anderer Forscher auf andere, gut substituierbare Projekte; dies würde einen geringen negativen Effekt durch Patente implizieren. In Deutschland sind zwölf Zivilgerichte mit Patentstreitkammern speziell auf Patentstreitigkeiten ausgerichtet. Eine Bekanntgabe ist was heißt patent mehreren Gründen sozial vorteilhaft gegenüber einer Geheimhaltung: Innovative Unternehmen, die ihre Entwicklungen gegen Nachahmung schützen möchten, versuchen einen Patentschutz für solche Produkte und Verfahren zu erreichen, welche zu einem wirtschaftlichen, technischen oder auch nur einem Marketingvorteil führen, um sich so einen Wettbewerbsvorteil zu verschaffen. Der Begriff Patent bezeichnet ein gewerbliches Schutzrecht, das neben dem Gebrauchsmuster für den Schutz technischer Erfindungen gewährt wird. Tiere und Pflanzen bekommen in Deutschland im Normalfall kein Patent. Abgesehen von eher exotischen, geheimzuhaltenden Gebieten ist Patentschutz nur mit einer Veröffentlichung der Erfindung möglich. Durchsetzung des Patentschutzes entstehen. In Deutschland sind zwölf Zivilgerichte mit Patentstreitkammern speziell auf Patentstreitigkeiten ausgerichtet. Wie sich Patente auf den wissenschaftlichen und technischen Fortschritt bzw. Solche Vorratspatente tragen natürlich zu einem Ausbau des eigenen Patentbestands bei siehe oben. Teilen Sie Ihr Wissen. In anderen Projekten Commons. Eine Patentanmeldung kann in einem bestimmten Entwicklungsbereich Technik, Software, Pflanzensorten etc. Unklar ist zweitens, ob vor allem diejenigen Wissenschaftler betroffen waren, die die mit dem später erteilten Patentschutz assoziierte Publikation bereits vorher zitiert hatten, oder ob die Reduktion in erster Linie auf eine Beschränkung von potenziell erstmaligen Zitationen zurückzuführen ist. Forscher identifizieren "bizarre Kreatur" kabeleinsdoku. In den jeweiligen Ausschüssen arbeiten die Industrie, das Handwerk, Forschungseinrichtungen und Einzelpersonen gleichberechtigt mit.

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